能量X射线色散谱学分析
Energy X-ray Dispersive Spectroscopy
X射线能谱法（EDS、EDX、XEDS）是用于样品分析和表征的分析技术。元素成分分析是了解异物、涂层成分、小组成材料、快速合金识别、评估腐蚀，以及相位识别和分布的关键所在。EDS可以快速收集高原子序数的元素信号，并且能够进行定性分析样品成分。
主要应用：
1. 点、线和面扫元素分析；
2. 原子级面扫元素分布；
EDS元素分布：2800元起/样
能谱主要应用案例
半导体材料STO的原子级面扫成像
氧化物材料的原子级面扫成像
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