氦离子显微分析
Helium Ion Microscopy
氦离子显微镜可以实现高效、高精度的纳米级结构加工与成像，集成三种离子束为一体的成像加工。实现高分辨率成像的同时，其中的电荷补偿技术也可以实现不导电样品的成像，其高精度加工与高分辨率成像能力能够满足材料科学、生命科学等领域的研发与需求。
主要功能
1. 不导电样品成像；
2. 高分辨成像，图像分辨率为0.5 nm；
3. 断面形貌观察；
氦离子显微成像及加工：5000元起/样
氦离子显微镜应用案例
不导电样品形貌观测
纳米加工
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