电子能量损失谱学分析
Electron Energy Loss Spectroscopy
电子能量损失光谱（EELS）是利用通过薄样品的电子的能量分布来分析样品的含量并创建具有独特对比度效果的图像。
EELS仪器通常被整合到透射电子显微镜TEM或STEM中。这些显微镜类型使用高能电子（通常为60 – 300 kV）来穿透样品。电子可以与样品弹性相互作用（无能量交换）或非弹性相互作用，EELS利用这些相互作用来提取有关样品的信息。
主要应用：
1. 点、线和面扫EELS谱分析；
2. 原子级EELS谱图收集；
EELS谱收集：2800元起/样
EELS应用案例
半导体材料线扫EELS谱以及定量分析
砷化镓原子级面扫EELS谱图
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