X射线光电子能谱仪
X-ray Photoelectron Spectroscopy
X射线光电子能谱仪 又称化学分析用电子谱(ESCA)，是一种常规的表面表征手段，除了可以表征材料的组成成分外，还可以表征各组成成分所处的化学状态，还有可定量的表征每种化学状态的相对含量；因而XPS广泛地应用于材料研究的各个领域。
主要功能：
1、样品表面的元素成分（Li-U）分析、元素化学状态（价态，化学键合等）信息、定量分析、深度剖析、角分辨XPS、高低温原位测试。
2、Ar离子枪可实现样品中和、清洁和深度剖析功能。
3、GCIB离子枪适用于有机材料的表面清洁和多层膜层结构深度剖析，溅射时对材料化学态破坏小。
4、紫外光源UPS主要应用价带谱，费米能级，功函数测试。
5、彩色CCD摄像机成像和X射线二次电子成像（SXI）可用于样品观察及分析选点定位，可实现样品表面点分析、线扫描、面分析。
6、配备真空转移装置，可保护样品表面在分析前不受环境，空气和氧气的影响。
XPS表面分析：3000元起/样
X射线光电子能谱仪应用案例
催化剂样品表面化学XPS分析
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